INFICON推出用于OLED沉積的鎂敏晶體

添加時(shí)間：2022/09/23

    一直以來，不少OLED生產(chǎn)商都面臨著OLED生產(chǎn)過程中鎂材料的沉積問題。為了解決這類問題，INFICON宣布開發(fā)出專門用于OLED沉積的高水平鎂敏晶體，顯著縮短了鎂監(jiān)測的初始時(shí)間延遲，同時(shí)保持了高穩(wěn)定性和再現(xiàn)性。

圖片來源：INFICON

    石英晶體微天平（QCM）是INFICON最重要的產(chǎn)品之一，用于有機(jī)發(fā)光二極管（OLED）和光學(xué)器件制造，以及許多其他應(yīng)用。由于薄膜的質(zhì)量負(fù)載，QCM的共振頻率發(fā)生了變化，這使得它可以被用作測量襯底上薄膜厚度積累速率的替代方法。

    INFICON高精度傳感器晶體的設(shè)計(jì)是基于許多OLED制造商對更穩(wěn)定的晶體的要求，在控制OLED材料的沉積時(shí)，更不容易出現(xiàn)活性下降（活性信號的不穩(wěn)定）。INFICON高精度傳感器晶體的場性能表明，在出現(xiàn)的次數(shù)和很少發(fā)生時(shí)的量級方面，活性下降幾乎消失提高了速率穩(wěn)定性。

    此前，OLED行業(yè)還沒有快速檢測鎂的解決方案。用戶必須解決這個(gè)鎂延遲問題，在實(shí)際沉積監(jiān)測之前，在相同的真空室中用鎂預(yù)涂晶體。這一額外步驟的預(yù)涂鎂需要相當(dāng)耗時(shí)，昂貴且浪費(fèi)材料。

    為了開發(fā)鎂敏OLED晶體生產(chǎn)線，INFICON詳細(xì)研究了晶體制造的所有組件和加工參數(shù)，包括晶體的形狀和光潔度、電極厚度、電極材料和電極的涂覆率。通過對各種晶體的制備、測試和分析，優(yōu)化了材料和工藝參數(shù)。使用經(jīng)過研究和現(xiàn)場驗(yàn)證的優(yōu)化材料和工藝參數(shù)，INFICON鎂敏OLED晶體由此誕生。

    INFICON目前為標(biāo)準(zhǔn)鎂敏OLED晶體生產(chǎn)線提供金和合金電極材料。此外，更高等級和更穩(wěn)定的鎂敏晶體生產(chǎn)線（基本上沒有活性下降）也可用于這兩種電極材料。